平成23年3月26日(月)?27日(日)の両日、本学マイクロ化総合技術センターにおいて、高専の教職員と学生を対象とした学外試作実習を実施しました。
実際にpn接合ダイオード*を作製し、自らの手で作製した試料を測定することで、pn接合ダイオードに関する知識と理解を深めることを目的としています。
今回の試作では、p型Si基板にn型領域を形成させるため、リン(P)原子を熱拡散させ、p領域にn型をカウンタードープさせたpn接合ダイオードを作製しました。

*pn接合ダイオード:　p型半導体とn型半導体を接合させたダイオード

実習の様子1

実習の様子2